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微小氣體流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制,廣泛用于分析測量儀器。其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度,進而影響整機分析結果的準確性和可靠性。
更新時間:2020-08-03
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